功能：透過雷射干涉儀可檢測工件尺寸大小，確認損耗與不良狀況。

規格：

◆ 設計為桌上型載台

◆ 載台面積為 350mmx350mm

◆ 可程式自動定位滑台

◆ 自動生成檢測報告與量測結果

功能：透過UV燈將UV膠進行固化動作。

規格：

◆ 設計為桌上型載台

◆ 載台可旋轉，UV均勻照射

◆ 使用E-Chuck ，防止晶圓損傷

功能：針對半導體IC進行包裝動作。

規格：

◆ 提供IC最佳承載及保護

◆ Tape Width 客製化設計涵蓋各式產品

◆ 可程式控制， Model Change快

◆ 具備AOI檢測功能達到全檢目的